燥样品：晶圆片干燥专用，，适用于多种尺寸样品，每次最多5片样品；

观察视窗：带蓝宝石视窗和照明的高压样品腔，便于观察样品池内部情况；

样品池材质：316L不锈钢一体加工，ep处理，适用于液态二氧化碳、高纯乙醇、IPA和丙酮；

制冷模式：内置压缩机制冷，避免了二氧化碳制冷造成的气体浪费，制冷温度可快速达到0℃；

样品池填充：PTFE样品室填充环可以调整样品室内径到适配2”，4”，6”晶圆片，节省LCO2用量，缩短干燥时间，提高干燥效率；

过滤系统：包含双级过滤，一级过滤精度：0.5um，二级过滤精度：0.003um；

生产工艺：全部生产，测试流程均在无尘室操作，配件均为高洁净度；

压力控制：仪器备有超压自动泄压系统，确保压力可控；

软件设计：内置多种处理程序，也可自定义程序并重复使用，图形化界面显示；

回收循环：可选配带有co2回收接口的二氧化碳高压泵，可实现co2增压和循环；

机箱设计：坚固防腐蚀的箱体，桌面放置，节省空间。